Процесс вакуумного горячего прессования используется для уплотнения керамических материалов с использованием тепловой и механической энергии, что приводит к мишеням из керамики ITO с плотностью от 91% до 96%. Процесс включает в себя нагрев формы, добавление образцов и установку формы на нагревательную пластину, контролируя температуру плавления и время. Образцы плавятся, твердеют, остывают, и готовый продукт извлекается.
\n\n\n\nГорячее изостатическое прессование (HIP) является альтернативой прессованию без давления, которое требует более низкой температуры спекания (обычно 0.5-0.7 от температуры плавления материала) и достигает полной упрочненности. Эта техника полезна для контроля структуры, подавления роста зерен и получения однородной, изотропной структуры. При подготовке мишеней ITO методом горячего изостатического прессования порошок твердого раствора ITO необходимо сначала восстановить в восстановительной атмосфере (такой как смесь H2, N2 и H2) при температуре 300-500℃. Затем восстановленный порошок обрабатывается с помощью формовки или холодного изостатического прессования для получения заготовки, помещается в контейнер из нержавеющей стали с изоляционным материалом между ними и вакуумируется. Запечатанный контейнер помещается в печь горячего изостатического прессования, где он нагревается до 800-1050℃ при 50-200MPa в течение 2-6 часов для приготовления материала мишени ITO.
\n\n\n\nСпекание при обычной температуре — это метод подготовки мишеней, разработанный в начале 1990-х годов. Этот метод включает в себя смешивание порошка In2O3 (с определенной упругостью) и порошка SnO2 для подготовки суспензии для отливки, за которой следует длительная дегидратация и дегазация при 300-500°C. Заготовка затем спекается в чистой кислородной или воздушной атмосфере при давлении выше 1 атмосферы и температуре спекания от 1450 до 1550 °C.
\n\n\n\nХолодное изостатическое прессование (CIP) — это процесс, который использует резину или пластик в качестве материала для накрывки формы при нормальной температуре с давлением, передаваемым через жидкость с ультравысоким давлением. Порошок ITO затем прессуется в большую керамическую заготовку в условиях низкодавленной кислородной атмосферы и спекается в чистой кислородной среде при 0.1-0.9 MPa и температуре от 1500 до 1600°C. Этот метод теоретически может производить керамическую мишень с плотностью 95%.
\n\n\n\nМетод горячего прессования — это процесс, в котором прессование и термическое спекание выполняются одновременно. Преимущества этого процесса:
\n\n\n\n(1) Во время процесса горячего прессования порошок находится в термопластичном состоянии, сопротивление деформации небольшое, а пластическая деформация и уплотнение происходят легко, поэтому потребуется небольшое прессующее давление.
\n\n\n\n(2) Одновременное нагревание и давление способствуют контакту, диффузии и потоку между порошковыми частицами, снижению температуры спекания и сокращению времени спекания, а также подавлению роста зерен.
\n\n\n\n(3) Метод горячего прессования позволяет легко получить спеченное тело с плотностью, близкой к теоретической, и пористостью, близкой к нулю, и легко достигается мелкозернистая структура.
\n\n\n\nОсновные недостатки этого подхода:
\n\n\n\n(1) Из-за ограничений оборудования для горячего прессования и размера формы полученный размер мишени небольшой. Максимальный текущий размер мишени составляет 400×300 мм.
\n\n\n\n(2) Этот метод предъявляет высокие требования к материалам для форм (как правило, требуется высокочистый и высокопрочный графит). Кроме того, оборудование для горячего прессования необходимо импортировать, что делает его непригодным для непрерывного промышленного производства. Производственная эффективность низкая, а стоимость высокая.
\n\n\n\n(3) Однородность зерен мишени плохая.
\n\n\n\nГорячее изостатическое прессование является наиболее распространенным методом для приготовления мишеней ITO для распыления. У него есть следующие преимущества:
\n\n\n\n(1) Оно может преодолевать недостатки горячего прессования в графитовых формах.
\n\n\n\n(2) При нагревании и прессовании продукт со всех сторон одновременно прессуется, так что полученный продукт имеет очень высокую плотность (близкую к теоретической плотности).
\n\n\n\n(3) Горячее изостатическое прессование сочетает процесс прессования и спекания и снижает температуру спекания, что приводит к улучшению физических и механических свойств продукта, при этом избегая роста зерен.
\n\n\n\nОсновные недостатки этого подхода:
\n\n\n\n(1) Размер мишени ограничен давлением оборудования и размером цилиндра, что затрудняет подготовку больших мишеней.
\n\n\n\n(2) Оборудование дорогое, а первоначальные инвестиции высокие.
\n\n\n\n(3) Низкая производственная эффективность и высокие производственные затраты делают продукцию неконкурентоспособной.
\n\n\n\nОсновные преимущества метода спекания при обычной температуре:
\n\n\n\n(1) Размер мишени не ограничен оборудованием, можно производить мишени большого размера.
\n\n\n\n(2) Низкие инвестиции в оборудование, низкие производственные затраты, высокая производственная эффективность, отличные характеристики мишеней и простота в промышленном производстве.
\n\n\n\n(3) Этот метод подходит для требований по производительности высококачественных мишеней для покрытия дисплеев.
\n\n\n\nЕго недостатки:
\n\n\n\n(1) Этот метод спекания является самым сложным по сравнению с другими методами, так как требует добавления вспомогательных средств для достижения плотного спеченного тела. К сожалению, эти вспомогательные вещества трудно удалить из спеченного тела, что приводит к снижению чистоты продукта.
\n\n\n\n(2) Соответствие строгим требованиям к форме, размеру частиц и распределению размеров частиц порошка обычно требует шарового помола, воздушного помола и классификации оседанием порошка.
\n\n\n\n(3) Обычно полученные мишени тонкие.
\n\n\n\nПреимущества подготовки мишеней ITO методом холодного изостатического прессования:
\n\n\n\n(1) По сравнению с механическим прессованием холодное изостатическое прессование имеет большое давление, и изделие равномерно нагружено, что особенно подходит для прессования крупных порошковых продуктов.
\n\n\n\n(2) Прессованные порошковые продукты имеют преимущества высокой плотности и однородности.
\n\n\n\n(3) Прессованный порошок не требует добавления смазки и др.
\n\n\n\n(4) Производственные затраты низкие и подходят для массового производства. Однако использование гипербарического кислорода делает процесс опасным.
\n\n \n \n \n\n ", "summary": "Существует четыре основных метода формирования мишеней для ITO Вакуумное горячее прессование Процесс вакуумного горячего прессования используется для уплотнения керамических материалов с использованием тепловой и механической энергии, что приводит к мишеням из керамики ITO с плотностью от 91% до 96%. Процесс включает в себя нагрев формы, добавление", "sections": [], "updated_at": "2026-10-16" }![\"\"](\"/files/grish-asset-b6aed1b36995754585bf04f3/page_single_news-main_share-fb.svg\")
\n ![\"\"](\"/files/grish-asset-94fd9956095f45c0bff3c1f5/page_single_news-main_share-tw.svg\")
\n ![\"\"](\"/files/grish-asset-b20329e5cc53cdce717db7d0/linkedin-g.svg\")
\n