{
  "title": "Принципы ультраточной двойной полировки",
  "kind": "reference",
  "company": "GRISH / Beijing Grish Hitech",
  "category": "Lapping, honing & superfinishing",
  "parameters": {
    "Brand / publisher": "GRISH",
    "Content type": "articles",
    "Language": "Русский"
  },
  "language": "ru",
  "source_url": "https://grish.com/ru/principles-of-ultra-precision-double-sided-polishing/",
  "content_html": "<p>Ультраточная двойная полировка использует технологию химико-механической полировки (CMP). В процессе полировки детали возникают локальные высокие температуры и давления, вызванные механическими воздействиями детали, абразивных частиц, полировочной жидкости и диска. Прямой контакт между деталью и абразивными частицами, полировочной жидкостью и полировочным диском вызывает физико-химические изменения на поверхности детали, что приводит к реакциям как физических, так и химических изменений.</p>\n\n\n\n<p>Технология двойной полировки была разработана из технологии односторонней полировки для предотвращения проблем деформации, различий в напряжениях и ошибок соединения, которые могут возникнуть в процессе обработки тонких деталей. Это достигается путем сочетания механического и химического воздействия, при котором реагенты на поверхности детали удаляются, в результате чего получается гладкая поверхность.</p>\n\n\n\n<p>Двойная полировка имеет много преимуществ перед односторонней полировкой, таких как высокая эффективность обработки, минимальная деформация поверхности и способность достигать ультра-гладких обработанных поверхностей. Эти преимущества делают двойную полировку предпочтительным выбором.</p>\n\n\n\n<figure><img src=\"/files/grish-asset-40cd0b93aa30c34c214b5864/CMP-1-1.webp\" alt=\"\" loading=\"lazy\" decoding=\"async\"></figure>\n\n\n\n<p>Общая система ультраточной двойной полировки состоит из четырех ключевых частей: рабочего стола для транспортировки и нижнего полировочного диска для детали, верхнего полировочного диска, который прикладывает давление, планетарного колеса, которое вращает деталь, и устройства, которое подает полировочную жидкость.</p>\n\n\n\n<p>Во время двойной полировки физическое движение между полировочной жидкостью и полировочной подушкой вызывает химические изменения детали. Кроме того, под давлением от вращения верхнего полировочного диска химические реактанты, образующиеся на поверхности детали, удаляются.</p>\n\n\n\n<p>Принцип CMP (химико-механическая полировка) заключается в том, что на поверхности детали образуется химическая пленка в результате непрерывных химических изменений. В то же время эта химическая пленка удаляется благодаря трению, вызванному вращающейся машиной, что приводит к ультра-точной поверхности. Этот тип обработки ультра-точных поверхностей также называют свободным абразивом.</p>\n\n\n\n<p>В этом типе обработки абразивные частицы с жесткостью, меньшей или равной жесткости детали, должны быть выбраны. Сочетание механического и химического воздействия генерирует чрезвычайно тонкую химическую пленку на поверхности детали, а также удаляет ее для достижения ультра-тонкой обработки поверхности. Это обеспечивает высокую точность, низкую шероховатость поверхности и отсутствие дефектов в целом. Тем не менее, требуется более глубокое исследование, чтобы получить ясность относительно особенностей формирования и удаления реакционного слоя.</p>\n\n\n\n<h2>Механизм движения ультраточной двойной полировки</h2>\n\n\n\n<p>Полный механизм движения двойной полировальной машины действует как дифференциальная планетарная передача. Когда четыре сервомотора приводят в движение четыре шпинделя на вращение через ременную передачу, центральное колесо, внешнее кольцевое колесо, верхний полировочный диск и нижний полировочный диск вращаются с заранее определенными угловыми скоростями. Деталь должна быть размещена в планетарном колесе, создавая зазор между ней и внутренней стенкой планетарного колеса, позволяя детали свободно перемещаться в минимальном диапазоне внутри планетарного колеса.</p>\n\n\n\n<p>Согласно дифференциальному принципу, когда центральное колесо и внешнее кольцевое колесо вращаются в противоположных направлениях, планетарные колеса приводятся в движение ими через коэффициент зацепления шестерен. Это заставляет планетарные колеса вращаться вокруг центральной оси с определенной угловой скоростью, одновременно вращаясь, что обеспечивает вращение и движение детали.</p>\n\n\n\n<p>Деталь движется под действием нагрузки от верхней полировочной поверхности, создавая трение с верхними и нижними полировочными подушками. Прямой контакт между деталями и полировочными подушками, полировочной жидкостью и абразивными частицами, присутствующими в полировочной жидкости, приводит к физическим и химическим изменениям на поверхности детали. В результате материал на поверхности детали реагирует и удаляется, обеспечивая ультра-гладкую отделку.</p>\n\n\n\n<figure><img src=\"/files/grish-asset-f5ffe66dbfe2bbd5dc991491/polishing.jpg\" alt=\"\" loading=\"lazy\" decoding=\"async\"></figure>\n\n\n\n<p>Перед началом полировки питание не подается, следовательно, центральное колесо и внешнее кольцевое колесо находятся в состоянии покоя, тогда как деталь также неподвижна в этот момент.</p>\n\n\n\n<p>При начале полировки верхние и нижние полировочные диски вращаются в противоположных направлениях с угловой скоростью φ благодаря своим моторам. Аналогично, центральное колесо и внешнее кольцевое колесо также вращаются в противоположном направлении со своими собственными угловыми скоростями, приводимыми в движение соответствующими моторами. Вместе с вращением центрального колеса и внешнего кольцевого колеса, планетарная передача 9 и обрабатываемая деталь движутся пассивно.</p>\n\n\n\n<p>Полировочная жидкость подается через верхний полировочный диск 3 в область полировки, чтобы одновременно достичь шлифования и смазки, а также предоставить преобразование химических свойств материала. Цилиндр 6 прикладывает давление вниз на верхний полировочный диск для обеспечения эффекта двойной полировки. Давление регулируется в реальном времени датчиком давления 7. Верхние и нижние полировочные диски вращаются в противоположных направлениях с аналогичными скоростями, чтобы уменьшить вес детали.</p>\n\n\n\n<p>Деталь подвергается двум видам движения во время полировки. Когда планетарное колесо 9 не движется, движение детали относительно простое, вращение происходит из-за противоположных трения верхних и нижних полировочных дисков. Однако, когда планетарное колесо вращается вокруг центральной оси, движение детали становится достаточно сложным. Она вращается вместе с планетарным колесом и одновременно вращается из-за трения верхних и нижних полировочных дисков, что делает ее движение сложной кривой, идеальной для создания гладкой и равномерной поверхности в результате полировки.</p>\n\n          \n          <div>\n            <ul>\n              <li>\n                <a href=\"https://www.facebook.com/sharer/sharer.php?u=https://grish.com/ru/principles-of-ultra-precision-double-sided-polishing/\" rel=\"noopener noreferrer\">\n                  <img src=\"/files/grish-asset-b6aed1b36995754585bf04f3/page_single_news-main_share-fb.svg\" alt=\"\" loading=\"lazy\" decoding=\"async\">\n                </a>\n              </li>\n\n              <li>\n                <a href=\"https://twitter.com/share?url=https://grish.com/ru/principles-of-ultra-precision-double-sided-polishing/\" rel=\"noopener noreferrer\">\n                  <img src=\"/files/grish-asset-94fd9956095f45c0bff3c1f5/page_single_news-main_share-tw.svg\" alt=\"\" loading=\"lazy\" decoding=\"async\">\n                </a>\n              </li>\n\n              <li>\n                <a href=\"http://www.linkedin.com/shareArticle?url=https://grish.com/ru/principles-of-ultra-precision-double-sided-polishing/\" rel=\"noopener noreferrer\">\n                  <img src=\"/files/grish-asset-b20329e5cc53cdce717db7d0/linkedin-g.svg\" alt=\"\" loading=\"lazy\" decoding=\"async\">\n                </a>\n              </li>\n                          </ul>\n          </div>\n        \n\n        ",
  "summary": "Ультраточная двойная полировка использует технологию химико-механической полировки (CMP). В процессе полировки детали возникают локальные высокие температуры и давления, вызванные механическими воздействиями детали, абразивных частиц, полировочной жидкости и диска. Прямой контакт между деталью и абразивными частицами, полировочной жидкостью и полир",
  "sections": [],
  "updated_at": "2026-10-16"
}