Slurry CMP
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Examinez de plus près le slurry CMP
Qu'est-ce qu'un slurry CMP ?
Le slurry CMP, également connu sous le nom de planification chimico-mécanique, est une dispersion liquide contenant des chimiques actifs et des grains micro-abrasifs utilisés pour une variété d'applications industrielles. Ce processus élimine des matériaux par une combinaison d'actions chimiques et mécaniques et est composé d'oxydants, d'agents chélateurs et d'inhibiteurs de corrosion.
Lorsqu'il est utilisé dans la production de semi-conducteurs et de membranes, le slurry CMP est conçu pour enlever précisément des matériaux d'une surface donnée afin de réduire les défauts et d'obtenir une planification cohérente et puissante.
Utilisations et fonctions du slurry CMP
Les slurries CMP sont des dispersions hétérogènes composées de particules micro-abrasives dispersées dans une phase mobile chimiquement active. Elles sont principalement utilisées en conjonction avec des équipements de lapidage ou de polissage rotatif pour enlever de petits volumes de matériau de surface provenant de pièces généralement dures et cristallines.
Le slurry CMP est corrosif et ne doit être en contact qu'avec des matériaux compatibles. Ils sont utilisés pour obtenir des surfaces de matériau hautement lisses et planes et sont particulièrement bénéfiques pour la fabrication de dispositifs semi-conducteurs. Au-delà du fait qu'il réduit la topographie rugueuse à un état planifié, le CMP permet également au fabricant de dispositifs d'atteindre la planification globale de la surface entière de la plaquette en une seule étape.
Avantages du slurry CMP grish
Le slurry CMP GRISH offre plusieurs avantages par rapport aux slurries traditionnelles. Ses particules sphériques SiO2 uniformes fournissent de meilleurs résultats de polissage par rapport à d'autres slurries, entraînant de meilleures valeurs Ra et TTV.
De plus, il offre un excellent taux d'élimination tout en maintenant la constance de ses performances de polissage grâce à sa capacité à être recyclé plusieurs fois. Le slurry CMP GRISH est un choix supérieur pour vos besoins de CMP.
Spécifications
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Spécifications
Modèle Taille des particules Apparence des particules pH Viscosité Concentration Emballage SOQ-12D 90nm-110nm Sphérique - 20% - SO-100-PF 90nm-110mm 10.5±0.5 20-50% 5kg 20kg SO-80-PF 70nm-90m SO-60-PF 50nm-70nm SO-40-PF 30nm-50nm SO-20-PF 10nm-30nm 10-40% Instrument de test Analyseur de particules laser SEM/TEM pH-mètre Viscomètre Hydromètre -
Téléchargements
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Applications
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LED & Semi-conducteur
Grish fournit des de polissage pour le polissage LED & Semi-conducteur. Nous proposons à la fois des suspensions de polissage humides et sèches, ainsi que des formulations à base d'huile et à base d'eau.
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Verre optique et cristal
Nous proposons une large gamme de de polissage pour les industries de l'optique, du verre et des pierres précieuses.
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Polissage des métaux
Grish se spécialise dans la fourniture de films, de poudres et de slurries de polissage pour les alliages durs, l'acier inoxydable et le polissage de moules de durcissement. sont conçus pour vous donner les meilleurs résultats possibles, que vous travailliez sur des surfaces petites ou grandes.
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Matériaux céramiques et précieux
Grish fournit des poudres et des slurries de polissage pour céramiques dures, anneaux d'étanchéité et pierres précieuses.
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